Физическая химия поверхности материалов микро- и наноэлектроники: учебное пособие
Бокарев В. П.
Рассматриваются основные физико-химические свойства поверхности кристаллических материалов и их связь с главной энергетической характеристикой поверхности – удельной поверхностной энергией. Пособие основано на одноименном курсе лекций, читаемом автором на кафедре микро- и наноэлектроники МФТИ для студентов 4 курса, и дополняет ранее опубликованную монографию автора «Поверхность и физико-химические свойства кристаллов»: МФТИ, 2018 г. Изложена зависимость основных физико-химических свойства макро-, микро- и нанокристаллов от симметрии их кристаллической структуры и анизотропии удельной поверхностной энергии. Учебное пособие подготовлено на базовой кафедре «Микро- и наноэлектроники» Московского физико-технического института (национального исследовательского университета) (МФТИ, Физтех) и в Научно-исследовательском институте молекулярной электроники (АО «НИИМЭ») г. Зеленоград, г. Москва и соответствует читаемому автором курсу лекций. Предназначено для научных работников и специалистов, занимающихся физикой и химией твёрдого тела, а также для аспирантов и студентов соответствующих специальностей.
- Издательство:
- МФТИ, Физтех
- УДК:
- 539.2:548.528:544
- Год издания:
- 2025
- Количество страниц:
- 158
- ISBN:
- 978-5-7417-0849-1
- Ключевые слова:
-
Свойства и структура молекулярных системПоверхностная энергияФизическая химия