Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 1. Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование
Королёв М. А., Крупкина Т. Ю., Ревелева М. А.
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.
- Издательство:
- Лаборатория знаний
- Год издания:
- 2020
- Количество страниц:
- 400
- ISBN:
- 978-5-00101-814-8
Вы находитесь на официальном сайте библиотеки МФТИ, здесь представлен каталог электронных книг, доступных для скачивания и чтения студентам и сотрудникам МФТИ, а также посетителям сайта, находящимся в локальной сети МФТИ.
Для доступа к полным текстам необходимо пройти авторизацию на портале https://profile.mipt.ru, после чего вернуться на сайт библиотеки https://books.mipt.ru.
В случае возникновения затруднений при выполнении указанных действий, пожалуйста, свяжитесь с нами.
Если Вы считаете нужным сообщить об опечатке, ошибке или о другой проблеме, Вы можете это сделать.