Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 1. Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование
Королёв М. А., Крупкина Т. Ю., Ревелева М. А.

Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.

Издательство:

Лаборатория знаний

Год издания:

2020

Количество страниц:

400

ISBN:

978-5-00101-814-8

Полный текст книги доступен студентам и сотрудникам МФТИ через Личный кабинет https://profile.mipt.ru/services/.

После авторизации пройдите по ссылке «Books.mipt.ru Электронная библиотека МФТИ»