Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство
Киреев В. Ю.

Издательство:
Интеллект
Год издания:
2016
Количество страниц:
320

Полный текст книги доступен студентам и сотрудникам МФТИ через Личный кабинет https://profile.mipt.ru/services/.

После авторизации пройдите по ссылке «Books.mipt.ru Электронная библиотека МФТИ»